炭化ケイ素エピタキシャルデバイスは、自社生産した炭化ケイ素基板上に炭化ケイ素の高品質単結晶膜を成長させ、炭化ケイ素エピタキシャルウェハーを製造する装置です。炭化ケイ素エピタキシャルウェハーは、ウェハー製造、パッケージングテストを通じて炭化ケイ素パワーデバイスを製造することができます。

炭化ケイ素エピタキシャルウェハーは、ウェハー製造、パッケージングテストなどのプロセスを通じて、炭化ケイ素ダイオード、炭化ケイ素MOSFETおよびその他のパワーデバイスを製造します。高温、高電圧、大電流およびその他の動作環境に適しており、新エネルギー自動車、充電パイル、太陽光発電・風力発電、エネルギー貯蔵、軌道交通、スマートグリッド、産業用電源、産業用駆動装置、白物家電などの分野で広く応用されています。